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Optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern
Paperback
184 Seiten
ISBN-13: 9783734783869
Verlag: Books on Demand
Erscheinungsdatum: 16.04.2015
Sprache: Deutsch
Farbe: Ja
erhältlich als:
36,00 €
inkl. MwSt. / portofrei
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Mehr erfahrenDünne Schichten von transparenten oder halbtransparenten Materialien spielen eine wichtige Rolle in unserem Leben. So wird einerseits eine Vielzahl von Farben in der Natur durch Interferenz von Licht hervorgerufen, das an dünnen, transparenten Schichten reflektiert wird. Andererseits begegnen wir täglich meistens unbewusst einer Vielzahl technischer Anwendungen dünner Filme. Daher ist es in unserem Interesse, so viel Information wie möglich über Schichten und Beschichtungen zu erhalten.
Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstörungs- und berührungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dünner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch führt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflüsse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrößen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet.
Die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ist eine schnelle, zerstörungs- und berührungslose Methode zur Bestimmung der Dicke dünner Schichten, die sogar zur In-Prozess Kontrolle von Schichtdicken verwendet werden kann. Dieses Buch führt in die optische Schichtdickenmessung mit miniaturisierten Spektrometern ein und beleuchtet die Einflüsse von Dispersion, Absorption und Substrat auf die Bestimmung der Schichtdicke. Desweiteren werden Messaufbau, Messgrößen, Berechnungsmodelle und Auswertemethoden vorgestellt und bewertet.
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